| 摘要 |
<P>La présente invention concerne un ellipsomètre spectroscopique modulé à une fréquence (omegam ) destiné à la mesure d'un échantillon (3). <BR/> L'ellipsomètre spectroscopique est à modulation de phase, des moyens (16) d'excitation extérieure de l'échantillon produisent une excitation (30) alternative, périodique, de fréquence (OMEGAe ) et la mesure contient les valeurs des paramètres ellipsométriques (psi, DELTA) de l'échantillon, respectivement en présence (psi1 , DELTA1 ) et en absence (psi2 , DELTA2 ) d'excitation de l'échantillon, en fonction de la fréquence (OMEGAe ) d'excitation.</P>
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