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发明名称 Vorrichtung für reversible Chipkontaktierung
摘要
申请公布号 DE4400551(A1) 申请公布日期 1995.07.13
申请号 DE19944400551 申请日期 1994.01.11
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 WEBER, WERNER, DR., 80637 MUENCHEN, DE;KOEPPE, SIEGMAR, 81543 MUENCHEN, DE;KLOSE, HELMUT, DR., 81929 MUENCHEN, DE;HUEBNER, HOLGER, DR., 85598 BALDHAM, DE
分类号 G01R31/26;G01R1/06;G01R1/067;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;G01R31/28;H01B1/02;H01L21/822;H01L23/50;H01R11/18 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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