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经营范围
发明名称
Verfahren zum Herstellen von selbstjustierendem Wolframlsilizid.
摘要
申请公布号
DE68919629(T2)
申请公布日期
1995.07.13
申请号
DE1989619629T
申请日期
1989.09.06
申请人
FRANCE TELECOM, PARIS, FR
发明人
TORRES, JOAQUIM, F-38950 SAINT MARTIN LE VINOUX, FR;PALLEAU, JEAN, F-38410 URIAGE, FR;BOURHILA, NOUREDDINE, F-38130 ECHIROLLES, FR
分类号
H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/768;H01L21/320
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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