发明名称 Verfahren zum Herstellen von selbstjustierendem Wolframlsilizid.
摘要
申请公布号 DE68919629(T2) 申请公布日期 1995.07.13
申请号 DE1989619629T 申请日期 1989.09.06
申请人 FRANCE TELECOM, PARIS, FR 发明人 TORRES, JOAQUIM, F-38950 SAINT MARTIN LE VINOUX, FR;PALLEAU, JEAN, F-38410 URIAGE, FR;BOURHILA, NOUREDDINE, F-38130 ECHIROLLES, FR
分类号 H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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