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发明名称
DEPOSITION OF THIN FILMS BY CATHODIC SPUTTERING
摘要
申请公布号
CA784701(A)
申请公布日期
1968.05.07
申请号
CAD784701
申请日期
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
BRUCE I. BERTELSEN
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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