| 发明名称 |
Contrôle de la concentration d'impureté de contamination dans un courant de gaz porteur |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR1525536(A) |
申请公布日期 |
1968.05.17 |
| 申请号 |
FR19670108781 |
申请日期 |
1967.06.01 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED |
发明人 |
|
| 分类号 |
B01J4/00;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/00 |
主分类号 |
B01J4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
