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发明名称 Verfahren und Anordnung zur Abtragung duenner ebenflaechiger Schichten mit einem Strahlenbuendel geladener Teilchen und Verwendung zur Herstellung von Bauelementen der Duennschichttechnik
摘要
申请公布号 DE1268285(B) 申请公布日期 1968.05.16
申请号 DE19651268285 申请日期 1965.03.17
申请人 VEB KERAMISCHE WERKE HERMSDORF 发明人 DR. H. C. MANFRED VON ARDENNE
分类号 H01J37/30;H01L21/24 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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