| 发明名称 |
REACTIVE ION ETCHING OF LATTICE AND TWO-DIMENSIONAL LATTICE STRUCTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07173649(A) |
申请公布日期 |
1995.07.11 |
| 申请号 |
JP19940224658 |
申请日期 |
1994.09.20 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT CO |
发明人 |
TOOMASU DABURIYU DEERII;CHIYAARUZU ERU SHIYAAABU;HIYUU ERU GAABIN;KURAUSU ROBINSON |
| 分类号 |
G03H1/04;C04B41/53;C04B41/91;C23F4/00;G02B5/18;G03F7/36;(IPC1-7):C23F4/00 |
主分类号 |
G03H1/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
