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发明名称 TUNNEL CARRYING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07172580(A) 申请公布日期 1995.07.11
申请号 JP19930343500 申请日期 1993.12.16
申请人 EBARA CORP 发明人 KONDO FUMIO;KAJIYAMA MASAAKI;MATSUMURA MASAO
分类号 B65G54/02;B60L13/04;B65G43/08;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G54/02 主分类号 B65G54/02
代理机构 代理人
主权项
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