| 发明名称 |
PRODUCTION OF GAAS COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07172976(A) |
申请公布日期 |
1995.07.11 |
| 申请号 |
JP19930325205 |
申请日期 |
1993.12.22 |
| 申请人 |
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
发明人 |
TAMAI FUJIO |
| 分类号 |
C30B15/02;C30B29/42;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/02 |
主分类号 |
C30B15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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