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发明名称 METHOD FOR VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 KR950007482(B1) 申请公布日期 1995.07.11
申请号 KR19860009998 申请日期 1986.11.26
申请人 SONY CO., LTD. 发明人 KAWAI, HIROJI;IMANAKA, SUNJI;HASE, ICHIRO;KANEKO, KUNIO;WATANABE, NAOJO
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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