发明名称 |
SUBSTRATE TREATING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07171477(A) |
申请公布日期 |
1995.07.11 |
申请号 |
JP19930345147 |
申请日期 |
1993.12.20 |
申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
MIZOHATA YASUHIRO;KOYAMA YOSHIHIRO |
分类号 |
B05C11/08;B05C11/10;H01L21/304;(IPC1-7):B05C11/08 |
主分类号 |
B05C11/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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