发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR BAKING VACUUM CONTAINER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07171373(A) |
申请公布日期 |
1995.07.11 |
申请号 |
JP19930344893 |
申请日期 |
1993.12.20 |
申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
SHINOZUKA SHUHEI;ONO KOJI;MATSUMURA MASAO;YOSHIOKA TAKESHI |
分类号 |
B01J3/00;(IPC1-7):B01J3/00 |
主分类号 |
B01J3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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