| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07172981(A) |
申请公布日期 |
1995.07.11 |
| 申请号 |
JP19930342609 |
申请日期 |
1993.12.14 |
| 申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
HIGO SHINJI |
| 分类号 |
C30B15/30;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/30 |
主分类号 |
C30B15/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
