发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07172811(A) 申请公布日期 1995.07.11
申请号 JP19930323575 申请日期 1993.12.22
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUSHITA HARUHIKO
分类号 C01B33/12;H01L21/208;(IPC1-7):C01B33/12 主分类号 C01B33/12
代理机构 代理人
主权项
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