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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH07172811(A)
申请公布日期
1995.07.11
申请号
JP19930323575
申请日期
1993.12.22
申请人
NEC CORP
发明人
MATSUSHITA HARUHIKO
分类号
C01B33/12;H01L21/208;(IPC1-7):C01B33/12
主分类号
C01B33/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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