发明名称 |
METHOD OF DETERMINING INTERJUNCTION OXYGEN CONCENTRATION AND IRREGULARITY OF ITS DISTRIBUTION IN SEMICONDUCTORS |
摘要 |
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申请公布号 |
PL301715(A1) |
申请公布日期 |
1995.07.10 |
申请号 |
PL19930301715 |
申请日期 |
1993.12.31 |
申请人 |
INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ |
发明人 |
PIOTROWSKI TADEUSZ;CZERNIACHOWSKIJ WITALIJ;MALUTENKO WLADYMIR |
分类号 |
G01N21/71;G01N33/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01N33/00 |
主分类号 |
G01N21/71 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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