发明名称 |
REVERSE DARK FIELD ALIGNMENT SYSTEMS FOR SCANNING LITHOGRAPHIC ALIGNER |
摘要 |
|
申请公布号 |
KR950007343(B1) |
申请公布日期 |
1995.07.10 |
申请号 |
KR19870008239 |
申请日期 |
1987.07.29 |
申请人 |
SVG LITHOGRAPHY SYSTEMS INC. |
发明人 |
WU, FREDERICK Y. |
分类号 |
G01B11/00;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):G03F7/00;G03B41/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|