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发明名称 MAKING MEHTOD OF TFT
摘要
申请公布号 KR950007355(B1) 申请公布日期 1995.07.10
申请号 KR19910009163 申请日期 1991.06.01
申请人 HANDOODAI ENERGY INSTITUTE CO., LTD. 发明人 HONGIONGJANG
分类号 H01L29/78;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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