发明名称 Nichtflüchtige Speichervorrichtung mit einer Polyimid-Maskenschicht
摘要
申请公布号 DE4305849(C2) 申请公布日期 1995.07.06
申请号 DE19934305849 申请日期 1993.02.25
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SHIROTA, SYOUZO, ITAMI, HYOGO, JP;OOTUKA, TAKAHIRO, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/115;H01L21/824;G11C14/00 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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