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发明名称 Plasma-Behandlungsvorrichtung.
摘要
申请公布号 DE59105607(D1) 申请公布日期 1995.07.06
申请号 DE19915005607 申请日期 1991.02.26
申请人 STRAEMKE, SIEGFRIED, DR.-ING., 52538 SELFKANT, DE 发明人 STRAEMKE, SIEGFRIED, DR.-ING., 52538 SELFKANT, DE
分类号 H01J37/18;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/18
代理机构 代理人
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