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发明名称
Method of selective reactive ion etching of substrates.
摘要
申请公布号
EP0314599(B1)
申请公布日期
1995.07.05
申请号
EP19880480049
申请日期
1988.09.27
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
DESILETS, BRIAN HENRY;KAPLAN, RICHARD DEAN;SACHDEV, HARBANS SINGH;SACHDEV, KRISHNA GANDHI;SANCHEZ, SUZAN ANN
分类号
H01L21/302;G03F7/09;H01B13/00;H01L21/3065;(IPC1-7):G03F7/09
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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