发明名称 Method of forming small through-holes in thin metal plate.
摘要
申请公布号 EP0476664(B1) 申请公布日期 1995.07.05
申请号 EP19910115966 申请日期 1991.09.19
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. 发明人 TOEI, KEIJI, DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.;MIYAJI, YASUYOSHI, DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD;SATO, MASANOBU, DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD;INAGAKI, AKIHIRO, DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD;TONOGAI, SEIJI, DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD;OMOTO, KOICHI, DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD
分类号 C23F1/02;C23F1/04;H01J9/14;H01L21/68;(IPC1-7):C23F1/02 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
主权项
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