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发明名称 Process for mechanical lift-off of a metal layer on a polymer.
摘要
申请公布号 EP0443967(B1) 申请公布日期 1995.07.05
申请号 EP19910420055 申请日期 1991.02.19
申请人 FRANCE TELECOM 发明人 SHILTZ, ANDRE;PALLEAU, JEAN;TORRES, JOAQUIM
分类号 H01L21/306;H01L21/027;H01L21/768;H05K3/02;H05K3/04;H05K3/40;(IPC1-7):H05K3/02 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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