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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07169747(A) 申请公布日期 1995.07.04
申请号 JP19930343050 申请日期 1993.12.14
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TOKYO ELECTRO F II KK 发明人 NISHIKAWA HIROSHI;TAWARA YOSHIFUMI;OGASAWARA MASAHIRO;AOKI MAKOTO;WAKUI ISAMU
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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