| 发明名称 |
METHOD AND EQUIPMENT FOR PROCESSING DISK-SHAPED WORKPIECE WITH LIQUID |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07169730(A) |
申请公布日期 |
1995.07.04 |
| 申请号 |
JP19940283940 |
申请日期 |
1994.10.25 |
| 申请人 |
WACKER CHEMITRONIC GES ELEKTON GRUNDSTOFFE MBH |
发明人 |
BAANTO PAZAA;RUDORUFU BUENKUBAUAA;RUUDOBUIKU PIHIRUMAIAA |
| 分类号 |
B08B3/04;B08B3/08;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B3/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
