| 发明名称 |
METHOD FOR MAKING A PATTERNED RESIST SUBSTRATE COMPOSITE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR950007226(B1) |
申请公布日期 |
1995.07.04 |
| 申请号 |
KR19870005909 |
申请日期 |
1987.06.11 |
| 申请人 |
MICROSI INC. |
发明人 |
CRIVELLO, JAMES V.;O'BRIEN, MICHAEL J.;LEE, JULIA L. |
| 分类号 |
G03C1/72;G03C1/00;G03C1/73;G03F7/004;G03F7/029;G03F7/039;G03F7/095;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/004;G03F7/30;G03F7/38;G03F7/40 |
主分类号 |
G03C1/72 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
