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发明名称 OXIDE FILM FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH07169951(A) 申请公布日期 1995.07.04
申请号 JP19940272810 申请日期 1994.10.12
申请人 HEWLETT PACKARD CO <HP> 发明人 KUWANNRIII KONRAATO YAN
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/51;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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