| 发明名称 |
MICRO PART PHYSICAL PROPERTY INFORMATION MEASURING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07167868(A) |
申请公布日期 |
1995.07.04 |
| 申请号 |
JP19940238773 |
申请日期 |
1994.10.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
HOSOKI SHIGEYUKI;HASEGAWA TAKESHI;KONO MAKIKO |
| 分类号 |
G01N24/00;G01N37/00;G01Q10/00;G01Q30/08;G01Q30/20;G01Q60/00;G01Q60/10;G01Q60/24;G01Q70/00;G01Q90/00;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01N24/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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