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发明名称 VLSI STRUCTURE OF LOCOS INULATED REGION OF SANDWITCH-SHAPED POLYBUFFR HAVING SEALED SIDE WALL WITH RECESS
摘要
申请公布号 JPH07169826(A) 申请公布日期 1995.07.04
申请号 JP19920110196 申请日期 1992.04.28
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 KARIPATONAMU BUI RAO
分类号 H01L21/316;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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