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发明名称
PRECISE MEASUREMENT OF DEVIATION IN SURFACE BEARING OF BONDED WAFER
摘要
申请公布号
JPH07169811(A)
申请公布日期
1995.07.04
申请号
JP19930316228
申请日期
1993.12.16
申请人
SUMITOMO SITIX CORP
发明人
OKUYAMA TETSUYA
分类号
H01L21/66;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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