发明名称 PRECISE MEASUREMENT OF DEVIATION IN SURFACE BEARING OF BONDED WAFER
摘要
申请公布号 JPH07169811(A) 申请公布日期 1995.07.04
申请号 JP19930316228 申请日期 1993.12.16
申请人 SUMITOMO SITIX CORP 发明人 OKUYAMA TETSUYA
分类号 H01L21/66;H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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