发明名称 PROBER
摘要
申请公布号 JPH07169801(A) 申请公布日期 1995.07.04
申请号 JP19930312394 申请日期 1993.12.14
申请人 NEC YAMAGUCHI LTD 发明人 MATAI SADAO
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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