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经营范围
发明名称
PROBER
摘要
申请公布号
JPH07169801(A)
申请公布日期
1995.07.04
申请号
JP19930312394
申请日期
1993.12.14
申请人
NEC YAMAGUCHI LTD
发明人
MATAI SADAO
分类号
G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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