发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH07169694(A) 申请公布日期 1995.07.04
申请号 JP19930316745 申请日期 1993.12.16
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 MORIYA AKIHIRO;TACHIKAWA AKIYOSHI;SHIROU AIJI;AIGOU TAKASHI
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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