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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH07169692(A) 申请公布日期 1995.07.04
申请号 JP19930313888 申请日期 1993.12.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OTSUKA NOBUYUKI
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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