| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR ACCELERATION SENSOR AND MANUFACTURE THEREOF AS WELL AS DETECTING SYSTEM OF ACCELERATION BY THE SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07167885(A) |
申请公布日期 |
1995.07.04 |
| 申请号 |
JP19930342592 |
申请日期 |
1993.12.13 |
| 申请人 |
OMRON CORP |
发明人 |
KAWABATA TATSUHISA;SAKATA MINORU |
| 分类号 |
G01P15/02;B81B3/00;B81C1/00;G01P15/08;H01L29/84;(IPC1-7):G01P15/08 |
主分类号 |
G01P15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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