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发明名称 FILM CARRIER FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH07169792(A) 申请公布日期 1995.07.04
申请号 JP19930313044 申请日期 1993.12.14
申请人 ASAHI CHEM IND CO LTD 发明人 NAGASAWA HIROSAKU
分类号 C08G73/10;B32B15/08;C08G69/32;C08G73/14;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 C08G73/10
代理机构 代理人
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