| 发明名称 |
MANUFACTURE OF INSULATING FILM AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07169762(A) |
申请公布日期 |
1995.07.04 |
| 申请号 |
JP19920123018 |
申请日期 |
1992.05.15 |
| 申请人 |
UTAKA MASATOSHI;TOAGOSEI CO LTD |
发明人 |
UTAKA MASATOSHI;YAMAMOTO SHIGEICHI |
| 分类号 |
H01L21/261;H01L21/318;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/318 |
主分类号 |
H01L21/261 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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