| 发明名称 |
DISCHARGE TUBE COOLING MECHANISM FOR PLASMA PROCESSING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07169592(A) |
申请公布日期 |
1995.07.04 |
| 申请号 |
JP19930342517 |
申请日期 |
1993.12.13 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
SUNADA TAKESHI;FUJIMOTO HIDEKI;TAKADA TOSHINARI;NAKAMURA TATSUYA |
| 分类号 |
H05H1/46;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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