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发明名称 ION SOURCE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07169428(A) 申请公布日期 1995.07.04
申请号 JP19940281410 申请日期 1994.10.19
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 ISHIKAWA JUNZO;MATSUBARA KATSUO;TAWARA HIDEAKI;NOGAWA SHUICHI
分类号 H01J27/18;H01J27/14;H01J27/20;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 主分类号 H01J27/18
代理机构 代理人
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