| 发明名称 |
SENSOR DEVICE AND PREPARATION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07167815(A) |
申请公布日期 |
1995.07.04 |
| 申请号 |
JP19940254489 |
申请日期 |
1994.09.22 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
EKUHARUTO HEENITSUHI;FUORUKAA REEMAN;URUFU BIYURUKAA |
| 分类号 |
G01N27/14;C23C14/14;C23F1/00;C23F1/24;G01N27/16;G01N27/22;H01L21/306;H01L49/00;(IPC1-7):G01N27/14 |
主分类号 |
G01N27/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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