| 发明名称 |
MEASUREMENT OF PROCESSING CHARACTERISTIC OF PLASMA WORKING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07167783(A) |
申请公布日期 |
1995.07.04 |
| 申请号 |
JP19940203222 |
申请日期 |
1994.08.29 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT CO |
发明人 |
JIETSUSE ENU MATOTSUSHIAN;JIYON JIEI BAJIYO |
| 分类号 |
G01N21/59;C23C14/00;C23C14/22;C23C14/48;C23C14/54;G01N27/04;(IPC1-7):G01N21/59 |
主分类号 |
G01N21/59 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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