发明名称 SAMPLE-BASE POSITION DETECTOR FOR SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH07167645(A) 申请公布日期 1995.07.04
申请号 JP19930313625 申请日期 1993.12.14
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 KAMI YOSHIHIRO;HARADA MITSUO;ITO SHUICHI
分类号 G01B21/00;G01B21/30;G01Q10/02;G01Q10/04;(IPC1-7):G01B21/30 主分类号 G01B21/00
代理机构 代理人
主权项
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