发明名称 PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH07169979(A) 申请公布日期 1995.07.04
申请号 JP19930312095 申请日期 1993.12.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ISHIDA KUNIO;ITO SATOSHI
分类号 G01L11/00;G01L11/02;G01N21/27;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 主分类号 G01L11/00
代理机构 代理人
主权项
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