| 发明名称 |
EQUIPMENT AND METHOD FOR JOINING WAFER PAIR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH07169660(A) |
申请公布日期 |
1995.07.04 |
| 申请号 |
JP19940206171 |
申请日期 |
1994.08.31 |
| 申请人 |
XEROX CORP |
发明人 |
DEIBUITSUDO JIEI KORINZU;DANIERU II KUUMAN;HAAMAN EI HAAMANSON |
| 分类号 |
B41J2/16;H01L21/00;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
B41J2/16 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
