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经营范围
发明名称
WAFER DRIER
摘要
申请公布号
JPH07169587(A)
申请公布日期
1995.07.04
申请号
JP19930341885
申请日期
1993.12.13
申请人
KAIJO CORP
发明人
SATO SHIGEHISA;NUMANO NORIFUMI
分类号
G01R29/24;F26B25/00;H05F3/04;(IPC1-7):H05F3/04
主分类号
G01R29/24
代理机构
代理人
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