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发明名称 PROCESS DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07169679(A) 申请公布日期 1995.07.04
申请号 JP19940204943 申请日期 1994.08.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 AKAMA YOSHIAKI;HAYASHI MASAKAZU;UCHIDA JUNZO;ISHIDA FUMIHIKO
分类号 G11B17/24;G11B17/02;G11B17/04;G11B17/22;H01J37/28;H01J37/305;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/205;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/027;H01L21/306 主分类号 G11B17/24
代理机构 代理人
主权项
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