发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH07169931(A) 申请公布日期 1995.07.04
申请号 JP19930316271 申请日期 1993.12.16
申请人 HITACHI LTD;NIPPON HOSO KYOKAI <NHK> 发明人 TSUJI KAZUTAKA;SAMEJIMA KENJI;NAKANO YASUSHI;MAKISHIMA TATSUO;OSHIMA TETSUYA;KUBOTA SETSU;KATO TSUTOMU;MARUYAMA HIROTAKA
分类号 H01L27/146;H01L31/0264;(IPC1-7):H01L27/146;H01L31/026 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
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