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发明名称 Method for Fabricating Semiconductor Light Integrated Circuit
摘要
申请公布号 CA2139140(A1) 申请公布日期 1995.06.29
申请号 CA19942139140 申请日期 1994.12.28
申请人 NEC CORPORATION 发明人 KATO, TOMOAKI
分类号 H01L21/205;B82Y10/00;B82Y20/00;B82Y40/00;G02F1/025;H01L33/00;H01S5/00;H01S5/026;H01S5/0625;H01S5/20;H01S5/227;H01S5/343;(IPC1-7):H01S3/102;H01S3/025;H01S3/085;H01S3/18;H01L27/14 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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