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发明名称 Wafer- oder Plättchenträger
摘要
申请公布号 DE4446972(A1) 申请公布日期 1995.06.29
申请号 DE19944446972 申请日期 1994.12.28
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC., ST. PETERS, MO., US 发明人 STINSON, MARK G., ST. PETERS, MO., US
分类号 B65G1/00;B65G49/07;C23C16/458;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/673;(IPC1-7):C23C14/50;H01L21/68;H01L21/363;H01J37/32 主分类号 B65G1/00
代理机构 代理人
主权项
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