Verfahren zur Herstellung einer elektronischen Vorrichtung mit einer vielschichtigen Struktur,申请号DE19863644652-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Herstellung einer elektronischen Vorrichtung mit einer vielschichtigen Struktur
摘要
申请公布号	DE3644652(C2)	申请公布日期	1995.06.29
申请号	DE19863644652	申请日期	1986.12.29
申请人	CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	KANAI, MASAHIRO, TOKIO/TOKYO, JP;HANNA, JUN-ICHI, YOKOHAMA, KANAGAWA, JP;SHIMIZU, ISAMU, YOKOHAMA, KANAGAWA, JP
分类号	H01L31/04;C23C16/22;C23C16/30;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/50;G03G5/08;H01L21/205;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/205;H01L31/18;H01L31/09	主分类号	H01L31/04
代理机构		代理人
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