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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ABBILDUNG VON VERSETZUNGEN IN MATERIALIEN DURCH EIN RASTERELEKTRONEN MIKROSKOP.
摘要
申请公布号 DE69017459(T2) 申请公布日期 1995.06.29
申请号 DE19906017459T 申请日期 1990.09.07
申请人 ISIS INNOVATION LTD., OXFORD, GB 发明人 CZERNUSZKA, JAN T. UNIVERSITY OF OXFORD, OXFORD, GB;LONG, NEIL, JAMES UNIVERSITY OF OXFORD, OXFORD, GB
分类号 G01N23/225;G01Q30/02;G01Q30/04;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):G01N23/225 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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