发明名称 Heterostrukturbauelement und dessen Herstellungsverfahren.
摘要
申请公布号 DE69015687(T2) 申请公布日期 1995.06.29
申请号 DE1990615687T 申请日期 1990.05.09
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 TAKIKAWA, MASAHIKO, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA 227, JP
分类号 H01L21/76;H01L21/205;H01L21/338;H01L27/095;H01L29/205;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/812;H01L21/306;H01L27/06;H01L29/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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